标准名称：碳基薄膜 分类及命名

标准编号：GB/T 43104-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 4 月 1 日

附件大小：4.60 MB

GB/T 43104-2023标准简介：

本文件规定了碳基薄膜的分类、命名及简称。本文件所述的碳基薄膜是以碳为主要成分，并由物理气相沉积（ PVD ）或化学气相沉积（ CVD ）制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[ 又称为类金刚石薄膜(DLC)]，CVD金刚石薄膜、石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。

本文件适用于工业规模生产的碳基薄膜。本文件不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基薄膜。