标准名称：碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法

标准编号：GB/T 42905-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 3 月 1 日

附件大小：1.09 MB

GB/T 42905-2023标准简介：

本文件描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。

本文件适用于n型掺杂浓度大于 1×10¹⁸ cm⁻³ 的碳化硅衬底上同质掺杂浓度小于 1×10¹⁶ cm⁻³ 的同质碳化硅外延层厚度的测试，测试范围为 3 μm～200 μm 。