标准名称：硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

标准编号：GB/T 35306-2023

替代情况：替代 GB/T 35306-2017

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 3 月 1 日

附件大小：1.33 MB

GB/T 35306-2023标准简介：

本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。

本文件适用于室温电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围(以原子数计)为2.5×1014 cm-3~1.5×1017 cm-3。

本文件代替 GB/T 35306-2017《硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法》。